電子部品熱処理装置

半導体やMLCC（積層セラミックコンデンサ）などの電子部品を、精密に制御された温度環境（加熱・冷却）で処理し、材料の組織変化や特性向上、機能付与を行うための専用設備です。真空・不活性ガス雰囲気で焼結や接合、硬化などを行い、製品の高性能化や安定供給に不可欠で、バッチ式や連続式など生産規模や用途に応じた多様なタイプがあります。