
ジェイテクト社のイナートガスオーブンは、窒素などの不活性ガスを導入し、低酸素(無酸化)雰囲気で材料の熱処理を行う装置で、酸化を防ぎながらセラミックの脱脂やガラス基板のアニールなどに使用され、高温(600℃まで)に対応し、冷却ブロアで降温時間を短縮し、実験から生産まで幅広い用途に利用できるのが特徴です。
- INHシリーズ(高温・生産向け)
- 特徴: 最高600℃までの無酸化熱処理が可能で、窒素(N2)導入で残留酸素濃度20ppm以下を達成する気密性の高い生産向けモデルです。
- 用途: セラミック部品の脱脂(脱バイ)、ガラス基板処理など実績多数。
- 機能: 冷却ブロアで槽外冷却し、降温時間を短縮します。排ガス処理装置とセットで使うことが推奨されます。
- AllFitシリーズ(過熱水蒸気対応)
- 特徴: 過熱水蒸気雰囲気に対応し、加水分解で処理時間の短縮や低温化を実現。発生装置と一体型でコンパクトです。
- 用途: 過熱水蒸気によるセラミックスの脱脂・脱バイに特化。
- 機能: 排ガス濃度測定ユニットやヒータ式排ガス処理装置などのオプションも用意。