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製品案内

光干渉式内周面積精密測定器

光干渉式内周面積精密測定器

内周面非接触で高精度測定

 

小径対応 高精度 イージーセッティング
最小測定内径:φ1.1mm~ 繰返し測定精度:σ<0.2μm 自動調心機能を搭載。誰でも簡単測定。

 

高速測定
他項目同時測定
内径 真円度・円筒度 ネジ形状 3D形状

 

ラインナップ

メカタイプ ORBID-I
インライン(大型)タイプ
ORBID-D
卓上タイプ
ORBID-SP
セパレートタイプ
測定径範囲 ※1 φ1.1mm~ φ1.1~40mm(標準) φ1.1mm~
プローブ挿入方向 ※2 上 → 下 下 → 上 ユーザー様機構に依る
測定機能

最小二乗径、真円度、内面評価、円筒度、
粗さ、真直度、同軸度 等

最小二乗径、真円度、
内面評価 ※3
共通コンポーネント

PC/戦闘ソフト

光学/制御ユニット

ステージ機構 調心用XYステージ、Z軸ステージ 調心用XYステージ
ユーザー様準備 架台
ワークスライダー
接続I/O 等
作業机 等 Z軸/送り機構
取付アタッチメント
接続I/O 等

※1 測定径に応じた光プローブの取付が必要です。光プローブは各メカタイプ共通となります。
※2 測定時の姿勢により精度に影響する場合がございます。
※3 I/OによってはORBID-I, -D同等の測定が可能となる場合がございます(カスタム対応)。

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